（原标题：永鼎股份央求晶圆匀胶检测安设专利神秘顾客方法，能在一定进度上转变晶圆上涂胶离心不均的情况）

金融界2023年12月22日讯息，据国度学问产权局公告，江苏永鼎股份有限公司央求一项名为“一种晶圆匀胶检测安设“，公开号CN117259138A，央求日历为2023年8月。

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专利纲目涌现，本发明属于晶圆检测手艺范围，具体的说是一种晶圆匀胶检测安设，包括涂胶圆仓，所述涂胶圆仓的底面中心处开设有第一雄厚孔，所述涂胶圆仓的里面第一雄厚孔的外围开设有圆环轨说念，所述第一雄厚孔的内壁中心处开设有第一圆环槽，所述第一雄厚孔的内壁贯有传动管，所述传动管的外壁固接有第一定位环，所述第一定位环的外壁与第一圆环槽的内壁互相卡合，所述传动管的一端固接有万向联轴器。本发明传动管为涂胶圆板提供旋转作用劲的同期，能通过对涂胶圆板与传动管之间相对夹角调遣在一定进度上转变晶圆上涂胶离心不均的情况，进而留意晶圆上涂胶涂覆达成后由于涂胶质料不达标导致的晶圆的坐褥截止镌汰的情况发生。

本文源自：金融界

作家：谍报员神秘顾客方法